CMOS-MEMS - Present and Future
Metadata only
Datum
2002Typ
- Conference Paper
ETH Bibliographie
yes
Altmetrics
Publikationsstatus
publishedExterne Links
Buchtitel
Technical digest : MEMS 2002, the Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Las Vegas, Nevada, USA, January 20-24, 2002Seiten / Artikelnummer
Verlag
IEEEKonferenz
Organisationseinheit
03684 - Hierlemann, Andreas / Hierlemann, Andreas
ETH Bibliographie
yes
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