Diamond-Coated Cantilevers for Scanning Capacitance Microscopy Applications - Research Collection

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Autor(in)

Yabuhara, Hidehiko

Fichtner, Wolfgang

Datum

2001-09

Typ

Journal Article

Zitate

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Publikationsstatus

published

Externe Links

https://doi.org/10.1016/S0026-2714(01)00190-1

Zeitschrift / Serie

Microelectronics Reliability

Band

41(9-10)

Seiten / Artikelnummer

1459 - 1463

Verlag

Elsevier

Organisationseinheit

03228 - Fichtner, Wolfgang
03380 - Huang, Qiuting (emeritus) / Huang, Qiuting (emeritus)

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