Grundlagen zur Herstellung komplementärer Dünnfilmtransistoren auf polykristallinem Silizium

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Autor(in)
Schmid, Jürg
Datum
1987
Typ
    Doctoral Thesis
Rechte / Lizenz
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
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https://doi.org/10.3929/ethz-a-000412488
Publikationsstatus
published
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Beteiligte
Referent: Ilegems, Marc
Referent: Melchior, Hans
Verlag
ETH Zürich
Thema
DÜNNSCHICHTTRANSISTOREN + DÜNNFILMTRANSISTOREN, TFT (ELEKTRONIK); SILICIUM UND ANORGANISCHE SILICIUMVERBINDUNGEN (TECHNISCHE CHEMIE); THIN FILM TRANSISTORS, TFT (ELECTRONICS); SILICON AND INORGANIC SILICON COMPOUNDS (TECHNICAL CHEMISTRY)
Anmerkungen
Diss. Naturwiss. ETH Zürich, Nr. 8145, 0000. Ref.: Melchior, H. ; Korref.: Ilegems, M..
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