Synthesis and characterization of copper and titanium compounds and their application as precursors in chemical vapor deposition

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Autor(in)
Plappert, Elisabeth-Charlotte
Datum
1995
Typ
    Doctoral Thesis
Rechte / Lizenz
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
Persistenter Link
https://doi.org/10.3929/ethz-a-001419996
Publikationsstatus
published
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Beteiligte
Referent: Nesper, Reinhard Friedrich
Referent: Venanzi, Luigi M.
Verlag
ETH Zürich
Thema
KUPFERORGANISCHE VERBINDUNGEN; TITANORGANISCHE VERBINDUNGEN; CHEMISCHE SYNTHESEN + CHEMISCHE REAKTIONEN; ZIRKONIUMORGANISCHE VERBINDUNGEN; EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN); COPPER-ORGANIC COMPOUNDS; TITANIUM-ORGANIC COMPOUNDS; CHEMICAL SYNTHESIS + CHEMICAL REACTIONS; ZIRCONIUM-ORGANIC COMPOUNDS; THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)
Anmerkungen
Diss. Naturwiss. ETH Zürich, Nr. 10996, 1995. Ref.: L. M. Venanzi ; Korref.: R. Nesper ; Korref.: K. H. Dahmen.
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