Excimerlaser-Ablation von Polymeren und photochemische Untersuchungen an Modellsubstanzen

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Autor(in)
Kunz, Thilo
Datum
1997
Typ
  • Doctoral Thesis
Rechte / Lizenz
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
Persistenter Link
https://doi.org/10.3929/ethz-a-001790338
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Beteiligte
Referent: Wokaun, Alexander
Referent: Zenobi, Renato
Verlag
ETH Zürich
Thema
EXCIMERLASER (LASERTECHNIK); LASERABLATION (LASERTECHNIK); PHOTOCHEMISCHE UMWANDLUNG VON POLYMEREN + PHOTOREAKTIVE POLYMERE; PHOTORESIST VERFAHREN (PHOTOGRAPHIE); EXCIMER LASERS (LASER ENGINEERING); LASER ABLATIONS (LASER ENGINEERING); PHOTOCHEMICAL TRANSFORMATION OF POLYMERS + PHOTOREACTIVE POLYMERS; PHOTORESIST PROCESSES (PHOTOGRAPHY)
Anmerkungen
Diss. Techn. Wiss. ETH Zürich, Nr. 12076, 1997. Ref.: A. Wokaun ; Korref.: R. Zenobi.
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