Excimerlaser-Ablation von Polymeren und photochemische Untersuchungen an Modellsubstanzen

Download
Abstract (Adobe PDF, 251.8Kb)
Fulltext (Adobe PDF, 20.33Mb)
Thumbnail
Closed access
Autor(in)
Kunz, Thilo
Datum
1997
Typ
  • Doctoral Thesis
Rechte / Lizenz
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
Persistenter Link
https://doi.org/10.3929/ethz-a-001790338
Publikationsstatus
published
Externe Links
Suchen via SFX
Beteiligte
Referent: Wokaun, Alexander
Referent: Zenobi, Renato
Verlag
ETH Zürich
Thema
EXCIMERLASER (LASERTECHNIK); LASERABLATION (LASERTECHNIK); PHOTOCHEMISCHE UMWANDLUNG VON POLYMEREN + PHOTOREAKTIVE POLYMERE; PHOTORESIST VERFAHREN (PHOTOGRAPHIE); EXCIMER LASERS (LASER ENGINEERING); LASER ABLATIONS (LASER ENGINEERING); PHOTOCHEMICAL TRANSFORMATION OF POLYMERS + PHOTOREACTIVE POLYMERS; PHOTORESIST PROCESSES (PHOTOGRAPHY)
Anmerkungen
Diss. Techn. Wiss. ETH Zürich, Nr. 12076, 1997. Ref.: A. Wokaun ; Korref.: R. Zenobi.
Mehr
Alle Metadaten anzeigen
ETH Bibliographie
yes
Altmetrics