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dc.contributor.author
Liebrich, Thomas
dc.contributor.supervisor
Hora, Pavel
dc.contributor.supervisor
Wegener, Konrad
dc.date.accessioned
2017-06-13T17:11:53Z
dc.date.available
2017-06-13T17:11:53Z
dc.date.issued
2012
dc.identifier.isbn
978-3-18-521208-6
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.11850/153570
dc.identifier.doi
10.3929/ethz-a-7335180
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
en
dc.publisher
ETH
dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/page/InC-NC/1.0/
dc.subject
METROLOGIE, MASS- UND GEWICHTSSYSTEME
dc.subject
MIKROTECHNIK
dc.subject
KOORDINATENMESSTECHNIK (MECHANIK)
dc.subject
3D-MESSTECHNIK (OPTIK)
dc.subject
KAPAZITIVE SENSOREN (ELEKTROTECHNIK)
dc.subject
STOCHASTISCHE APPROXIMATION + MONTE-CARLO-METHODEN (STOCHASTIK)
dc.subject
METROLOGY, WEIGHTS AND MEASURES
dc.subject
MICROTECHNOLOGY
dc.subject
COORDINATE MEASURING TECHNIQUES (MECHANICS)
dc.subject
3D MEASURING TECHNIQUE (OPTICS)
dc.subject
CAPACITIVE SENSORS (ELECTRICAL ENGINEERING)
dc.subject
STOCHASTIC APPROXIMATION + MONTE CARLO METHODS (STOCHASTICS)
dc.title
3D-Probing system for micro-components
dc.type
Doctoral Thesis
dc.rights.license
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
dc.date.published
2012
ethz.journal.title
Zürcher Schriften zur Produktionstechnik - IWF - Institut für Werkzeugmaschinen und Fertigung
ethz.journal.volume
1212
ethz.size
128 S.
ethz.code.ddc
DDC - DDC::6 - Technology, medicine and applied sciences::620 - Engineering & allied operations
ethz.code.ddc
DDC - DDC::6 - Technology, medicine and applied sciences::621.3 - Electric engineering
ethz.notes
Diss., Eidgenössische Technische Hochschule ETH Zürich, Nr. 20282.
ethz.identifier.diss
20282
ethz.identifier.nebis
007335180
ethz.publication.place
Zürich
ethz.publication.status
published
ethz.leitzahl
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02130 - Dep. Maschinenbau und Verfahrenstechnik / Dep. of Mechanical and Process Eng.
ethz.leitzahl
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02130 - Dep. Maschinenbau und Verfahrenstechnik / Dep. of Mechanical and Process Eng.::02623 - Inst. f. Werkzeugmaschinen und Fertigung / Inst. Machine Tools and Manufacturing::03641 - Wegener, Konrad / Wegener, Konrad
ethz.leitzahl.certified
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02130 - Dep. Maschinenbau und Verfahrenstechnik / Dep. of Mechanical and Process Eng.::02623 - Inst. f. Werkzeugmaschinen und Fertigung / Inst. Machine Tools and Manufacturing::03641 - Wegener, Konrad / Wegener, Konrad
ethz.date.deposited
2017-06-13T17:18:38Z
ethz.source
ECOL
ethz.identifier.importid
imp59366b2a166ab80712
ethz.ecolpid
eth:5849
ethz.eth
yes
ethz.availability
Open access
ethz.rosetta.installDate
2017-07-18T16:56:11Z
ethz.rosetta.lastUpdated
2020-02-15T04:20:33Z
ethz.rosetta.versionExported
true
ethz.COinS
ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.atitle=3D-Probing%20system%20for%20micro-components&rft.jtitle=Z%C3%BCrcher%20Schriften%20zur%20Produktionstechnik%20-%20IWF%20-%20Institut%20f%C3%BCr%20Werkzeugmaschinen%20und%20Fertigung&rft.date=2012&rft.volume=1212&rft.au=Liebrich,%20Thomas&rft.isbn=978-3-18-521208-6&rft.genre=unknown&rft_id=info:doi/978-3-18-521208-6&
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