Deposition of SiOx diffusion barriers on flexible packaging materials by PECVD
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Datum
2005-10Typ
- Conference Paper
Publikationsstatus
publishedZeitschrift / Serie
Surface & coatings technologyBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
ElsevierKonferenz
Thema
Silicon oxide; Diffusion barrier; PECVD; Water vapor permeability; RF mode; Dual modeOrganisationseinheit
03348 - Rudolf von Rohr, Philipp (emeritus) / Rudolf von Rohr, Philipp (emeritus)
Anmerkungen
Available online 31 March 2005.