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dc.contributor.author
Barrettino, Diego
dc.contributor.author
Hafizovic, Sadik
dc.contributor.author
Volden, Tormod
dc.contributor.author
Sedivy, Jan
dc.contributor.author
Kirstein, Kay-Uwe
dc.date.accessioned
2017-06-09T10:26:53Z
dc.date.available
2017-06-09T10:26:53Z
dc.date.issued
2005
dc.identifier.issn
0018-9200
dc.identifier.issn
1558-173X
dc.identifier.other
10.1109/JSSC.2004.842868
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.11850/33120
dc.language.iso
en
dc.publisher
IEEE
dc.subject
Atomic force microscopy
dc.subject
CMOS-based microsystem
dc.subject
Force sensors
dc.subject
MEMS
dc.title
CMOS monolithic mechatronic microsystem for surface imaging and force response studies
dc.type
Journal Article
ethz.journal.title
IEEE Journal of Solid-State Circuits
ethz.journal.volume
40
ethz.journal.issue
4
ethz.journal.abbreviated
IEEE j. solid-state circuits
ethz.pages.start
951
ethz.pages.end
959
ethz.notes
.
ethz.identifier.wos
ethz.identifier.nebis
000047877
ethz.publication.place
New York
ethz.publication.status
published
ethz.leitzahl
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02060 - Dep. Biosysteme / Dep. of Biosystems Science and Eng.::03684 - Hierlemann, Andreas / Hierlemann, Andreas
ethz.leitzahl.certified
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02060 - Dep. Biosysteme / Dep. of Biosystems Science and Eng.::03684 - Hierlemann, Andreas / Hierlemann, Andreas
ethz.date.deposited
2017-06-09T10:27:03Z
ethz.source
ECIT
ethz.identifier.importid
imp59364de3880e252739
ethz.ecitpid
pub:53814
ethz.eth
yes
ethz.availability
Metadata only
ethz.rosetta.installDate
2017-07-15T07:06:33Z
ethz.rosetta.lastUpdated
2018-10-01T12:19:50Z
ethz.rosetta.versionExported
true
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