Influence of etching parameters on the redeposition in lithium niobate thin film circuits
Metadata only
Datum
2021Typ
- Other Conference Item
ETH Bibliographie
yes
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Publikationsstatus
publishedBuchtitel
Nanofab POM abstract bookSeiten / Artikelnummer
Verlag
Nanofab-netKonferenz
Organisationseinheit
09531 - Grange, Rachel / Grange, Rachel
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Anmerkungen
Poster abstract ; Poster presented on May 17, 2021ETH Bibliographie
yes
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