Development of ultra-small thin film diaphragms for pressure sensor applications
Metadata only
Datum
2012Typ
- Conference Paper
ETH Bibliographie
yes
Altmetrics
Publikationsstatus
publishedBuchtitel
23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME 2012)Seiten / Artikelnummer
Verlag
University of Technology IlmenauKonferenz
Thema
Atomic layer deposition; Diaphragm; Thin film; Pressure SensroOrganisationseinheit
03609 - Hierold, Christofer / Hierold, Christofer
Zugehörige Publikationen und Daten
ETH Bibliographie
yes
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