Laser induced backside wet etching

Mechanisms and fabrication of micro-optical elements
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Autor(in)
Kopitkovas, G.
Lippert, Thomas
Venturini, J.
David, C.
Wokaun, Alexander
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Datum
2007
Typ
    Conference Paper
Publikationsstatus
published
Externe Links
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Zeitschrift / Serie
Journal of Physics: Conference Series
Band
59
Seiten / Artikelnummer
526 - 532
Verlag
Institute of Physics
Konferenz
8th International Conference on Laser Ablation (COLA 2005), Banff, Canada, September 11-16, 2005
Organisationseinheit
02513 - Laboratorium für Anorganische Chemie / Laboratory of Inorganic Chemistry
03421 - Wokaun, Alexander (emeritus)  
Anmerkungen
.
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