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Datum
2013Typ
- Conference Paper
Publikationsstatus
publishedBuchtitel
2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2013) : Taipei, Taiwan, 20 - 24 January 2013Seiten / Artikelnummer
Verlag
IEEEKonferenz
Organisationseinheit
03609 - Hierold, Christofer / Hierold, Christofer
03627 - Nelson, Bradley J. / Nelson, Bradley J.