Self-aligned Ge and SiGe three-dimensional epitaxy on dense Si pillar arrays

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Autor(in)
Bergamaschini, R.
Isa, F.
Falub, C.V.
Niedermann, P.
Müller, E.
Isella, G.
Känel, H. von
Miglio, L.
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Datum
2013
Typ
  • Journal Article
Publikationsstatus
published
Externe Links
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Zeitschrift / Serie
Surface science reports
Band
68(3–4)
Seiten / Artikelnummer
390 - 417
Verlag
North-Holland
Organisationseinheit
03569 - Batlogg, Bertram (emeritus)  
Anmerkungen
Available online 2 November 2013.
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Zitate
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