Metadata only
Datum
2007Typ
- Other Conference Item
ETH Bibliographie
yes
Altmetrics
Publikationsstatus
publishedExterne Links
Zeitschrift / Serie
Microelectronic EngineeringBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
ElsevierKonferenz
Organisationseinheit
03228 - Fichtner, Wolfgang
Anmerkungen
Available online 15 February 2007.ETH Bibliographie
yes
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