Sidewall roughness measurement inside photonic crystal holes by atomic force microscopy

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Autor(in)
Strasser, P.
Robin, F.
Carlström, C. F.
Wüest, R.
Kappeler, R.
Jäckel, H.
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Datum
2007
Typ
    Journal Article
Publikationsstatus
published
Externe Links
Zeitschrift / Serie
Nanotechnology
Band
18(40)
Seiten / Artikelnummer
405703
Verlag
Institute of Physics
Organisationseinheit
03386 - Jäckel, Heinz  
Anmerkungen
Received 21 June 2007, in final form 30 July 2007. Published 17 September 2007.
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