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Datum
1997Typ
- Doctoral Thesis
ETH Bibliographie
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https://doi.org/10.3929/ethz-a-001793808Publikationsstatus
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Verlag
Physical Electronics LaboratoryThema
MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK); HÖCHSTINTEGRIERTE SCHALTUNGEN, VLSI (MIKROELEKTRONIK); MIKROELEKTRONIK + INTEGRIERTE SCHALTUNGEN; ELEKTRISCHE FELDER (ELEKTROSTATIK); MICROELECTROMECHANICAL COMPONENTS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING); VERY LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUITS, VLSI (MICROELECTRONICS); MICROELECTRONICS + INTEGRATED CIRCUITS; ELECTRIC FIELDS (ELECTROSTATICS)Anmerkungen
Diss. Techn. Wiss. ETH Zürich, Nr. 12165, 1997. Ref.: Henry Baltes ; Korref.: Jan. G. Korvink ; Korref.: Arokia Nathan.ETH Bibliographie
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