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Autor(in)
Datum
2013Typ
- Doctoral Thesis
ETH Bibliographie
yes
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https://doi.org/10.3929/ethz-a-010039059Publikationsstatus
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Verlag
ETHThema
RASTERSONDENMIKROSKOPE, RSM + RASTERSONDENMIKROSKOPIE; NANOELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, NEMS (ELEKTROTECHNIK); STELLANTRIEBE + STELLEINRICHTUNGEN (AUTOMATISCHE REGELUNG); SCANNING PROBE MICROSCOPES, SPM + SCANNING PROBE MICROSCOPY; NANOELECTROMECHANICAL COMPONENTS, NEMS (ELECTRICAL ENGINEERING); SERVO-DRIVES + ACTUATORS (AUTOMATIC CONTROL)Organisationseinheit
02140 - Dep. Inf.technologie und Elektrotechnik / Dep. of Inform.Technol. Electrical Eng.03751 - Lygeros, John / Lygeros, John
Anmerkungen
Diss., Eidgenössische Technische Hochschule ETH Zürich, Nr. 21520, 2013.ETH Bibliographie
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