Beyond 100 nm resolution in 3D laser lithography — Post processing solutions
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Zeitschrift / Serie
Microelectronic EngineeringBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
ElsevierThema
3D laser lithography; Laser polymerization; Pyrolysis; Plasma etchingOrganisationseinheit
03997 - Heyderman, Laura / Heyderman, Laura