Crystal damage analysis of implanted AlxGa1-xN (0 ≤ x ≤ 1) by ion beam techniques
Publikationsstatus
publishedExterne Links
Zeitschrift / Serie
Surface and Coatings TechnologyBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
ElsevierThema
Implantation; Damage; AlGaN alloys; Ion beam techniquesOrganisationseinheit
08619 - Labor für Ionenstrahlphysik (LIP) / Laboratory of Ion Beam Physics (LIP)
Förderung
317169 - Supporting Postgraduate Research with Internships in Industry and Training Excellence (EC)