Publikationsstatus
publishedExterne Links
Zeitschrift / Serie
Journal of Micromechanics and MicroengineeringBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
IOP PublishingThema
Microchannels; SU-8 photopolymer; Sacrificial layer; Cantilever beam; Atomic force microscopy; Single-cell force spectroscopyOrganisationseinheit
03741 - Vörös, Janos / Vörös, Janos
Anmerkungen
Published 5 April 2016.