Herstellung von subμm CoSi₂ -Strukturen mit dem fokussierten Ionenstrahl
dc.contributor.author
Fuhrmann, Henning Andreas
dc.contributor.supervisor
Känel, Hans <<von>>
dc.contributor.supervisor
Ott, Hans Rudolf
dc.date.accessioned
2017-06-13T02:50:55Z
dc.date.available
2017-06-13T02:50:55Z
dc.date.issued
2000
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.11850/144663
dc.identifier.doi
10.3929/ethz-a-003914174
dc.format
application/pdf
dc.language.iso
de
dc.publisher
ETH Zürich
dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/page/InC-NC/1.0/
dc.subject
ANWENDUNGEN MIT IONENSTRAHLEN (ELEKTRODYNAMIK)
dc.subject
ERZEUGUNG DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)
dc.subject
COBALT-SILICIUM-VERBINDUNGEN (ANORGANISCHE CHEMIE)
dc.subject
ION BEAM TECHNOLOGY (ELECTRODYNAMICS)
dc.subject
PRODUCTION OF THIN FILMS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)
dc.subject
COBALT-SILICON COMPOUNDS (INORGANIC CHEMISTRY)
dc.title
Herstellung von subμm CoSi₂ -Strukturen mit dem fokussierten Ionenstrahl
dc.type
Doctoral Thesis
dc.rights.license
In Copyright - Non-Commercial Use Permitted
ethz.size
127 S.
ethz.code.ddc
DDC - DDC::5 - Science::530 - Physics
ethz.code.ddc
DDC - DDC::6 - Technology, medicine and applied sciences::620 - Engineering & allied operations
ethz.notes
Diss. Naturwissenschaften ETH Zürich, Nr. 13616, 2000.
ethz.identifier.diss
13616
ethz.identifier.nebis
003914174
ethz.publication.place
Zürich
ethz.publication.status
published
ethz.leitzahl
03258 - Ott, Hans Rudolf
ethz.date.deposited
2017-06-13T02:52:40Z
ethz.source
ECOL
ethz.identifier.importid
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ethz.ecolpid
eth:23536
ethz.eth
yes
ethz.availability
Open access
ethz.rosetta.installDate
2017-07-13T04:27:04Z
ethz.rosetta.lastUpdated
2020-02-15T00:32:23Z
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Publication type
-
Doctoral Thesis [29815]