The decomposition process on silicon-organic compounds (HMDSO, TEOS) in two different types of an atmospheric barrier discharge
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Autor(in)
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Datum
2001Typ
- Conference Paper
ETH Bibliographie
yes
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Publikationsstatus
publishedBuchtitel
Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC14)Seiten / Artikelnummer
Verlag
Gremi, CNRS/University of OrléansKonferenz
Organisationseinheit
03348 - Rudolf von Rohr, Philipp (emeritus) / Rudolf von Rohr, Philipp (emeritus)
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